镍铬硅论文

镍铬硅薄膜电阻层的磁控溅射及湿法刻蚀工艺研究
论文摘要本文通过直流磁控溅射法在96氧化铝基板上沉积镍铬硅薄膜,然后采用光刻及湿法刻蚀工艺实现不同要求的电阻图形。图形化过程中,分别对比HNA刻蚀体系、TMAH刻蚀体系以及催化...