偏折术论文

基于相位测量偏折术的透明物体表面形貌测量
论文摘要相位测量偏折术可实现对镜面、类镜面物体的面形高精度测量,而对于透射率高,且曲率较大的透明物体,若基于反射原理通常只能完成一部分面形测量,同时还要剔除后表面的寄生反射影响...