平面光栅尺论文

基于平面光栅尺的掩模台位置误差分析与验证
论文摘要为实现掩模台水平向三自由度高精度的运动定位,掩模台测量系统需要建立准确的多自由度解耦测量模型。采用二维衍射平面光栅尺建立掩模台自由度位置测量系统,并主要分析平面光栅尺和...