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基于超平表面的原子力显微镜探针磨损研究
论文摘要探针磨损是影响原子力显微镜图像质量的关键因素之一。为了研究原子力显微镜(AFM)探针针尖磨损问题,选取超平表面(Rq<0.5nm)作为测试样品,采用材料表面的粗糙...