气体循环论文

基于PolySim电子级多晶硅还原炉三维数值模拟
论文摘要利用PolySim软件建立了国内电子级多晶硅9对棒现役还原炉的三维模型,对还原炉内部的流动、传热进行了数值模拟,得到还原炉内部流场、温场以及硅棒表面温度的分布情况,指出...