驱动谐振频率论文

MEMS陀螺仪驱动谐振频率的温度补偿方法
论文摘要微机电系统（MEMS）陀螺的模态谐振频率和品质因子具有较强的温度敏感性,使得MEMS陀螺的输出零偏随温度漂移。为了解决零偏随温度漂移问题,提出了一种基于MEMS微机械陀...