缺陷类型论文

超光滑表面缺陷的分类检测研究
论文摘要为了区分超光滑表面上方存在的微小粒子、亚表面缺陷、微粗糙度三种缺陷产生的散射光,并得到能够探测这三种缺陷的最佳区域,将双向反射分布函数(BidirectionalRef...