热式风速风向传感器论文

MEMS热式风速计的控制与检测技术研究
论文摘要微电子机械系统（MEMS）技术因其微型化、集成化、批量化的特点备受关注。风速风向信息在农业生产、交通运输、天气预测以及体育赛事中是必不可少的参考信息,对MEMS风速计的...