容性耦合等离子体论文

论文摘要空间中等离子体环境对航天器与地面无线传输信号产生了很大的影响,目前国内外对等离子体电磁科学问题的研究还一直在深入,关于如何在包裹等离子鞘套的条件下实现飞行器对地有效地通...

论文摘要由于容性耦合等离子体（CCP）具有诸多独特的优势,因此被广泛应用于半导体工业中的介质层刻蚀与薄膜沉积工艺。特别地,双频或多频电源驱动放电已被证实是一种实现离子通量和离子...

论文摘要容性耦合射频(CCRF)放电可用于制备大体积、均匀、低温非热平衡等离子体,已得到了国内外的广泛关注。针对CCRF放电过程中等离子体参量的诊断问题,本文提供了一种基于均匀...