塞贝克效应论文

小型温差发电技术研究
论文摘要发现塞贝克效应以来,国外对温差发电进行了大量研究。温差发电芯片采用独特的薄膜技术加工制造而成,生产工艺结合微电子薄膜和类似MEMS芯片技术,在4cm2内的温度变化可以产...