三氟化氮论文

氦中三氟化氮气体标准物质的研制
论文摘要以高纯三氟化氮为原料气,分别使用红外光谱法及质谱法对其进行定性分析,再利用气相色谱仪及露点仪对其中的杂质进行定量检测,通过质量平衡法测定了原料气的纯度。通过重量法制备氦...
三氟化氮气体的制备及纯化方法综述
论文摘要三氟化氮(NF3)作为一种重要的电子气体及氟化剂,广泛应用于微电子工业中。本文阐述了目前工业生产中NF3的主要制备方法:化学氟化和电解法,化学氟化主要利用固态的氟化铝铵...
脉冲放电氦离子化检测器在高纯三氟化氮气体分析中的应用
论文摘要本研究采用带有脉冲放电氦离子检测器的气相色谱仪,并结合阀切割技术,建立高纯三氟化氮中多种痕量杂质的气相色谱快速检测方法。结果表明,高纯三氟化氮中具有O2+Ar、N2、C...