• 氮化硅薄膜的三阶非线性光学性质研究

    氮化硅薄膜的三阶非线性光学性质研究

    论文摘要低维非线性材料,尤其是CMOS工艺兼容材料,在光电器件和全光器件的集成化和小型化方面具有非常重要的应用。氮化硅作为一种重要的CMOS工艺兼容材料,其薄膜原子成分及结构的...