三维传输子论文

三维传输子量子比特制备研究
论文摘要研究了三维传输子（3D-transmon）量子比特的制备技术。采用电子束光刻技术制备亚微米双层胶悬空掩模,电子束斜蒸发技术制备Al/AlOx/Al超导隧道结。将隧道结与...