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改造线切割机砂浆喷布系统成功降低砷化镓衬底翘曲度
论文摘要砷化镓(GaAs)是继硅之后被研究最深入、应用最广泛的半导体材料,被广泛应用于光电子和微电子领域。2015年年底,中国电子科技信团公司第四十六研究所陆续突破了4英寸SI...