栅距测量论文

基于超精密激光直写系统制作二维光栅
论文摘要二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出栅线密度为1200line/mm的二维光栅掩...