甚高频论文

论文摘要由于容性耦合等离子体（CCP）具有诸多独特的优势,因此被广泛应用于半导体工业中的介质层刻蚀与薄膜沉积工艺。特别地,双频或多频电源驱动放电已被证实是一种实现离子通量和离子...

导读:本文包含了作用距离论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:距离,作用,甚高频,导纳,激光,自我,互补性。作用距离论文文献综述高厚宾,王蔷瑞[1]...

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导读:本文包含了闪电定位论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:闪电,甚高频,呼和浩特,辐射源,雷暴,供电系统,电场。闪电定位论文文献综述丁旻,吴安坤...

导读:本文包含了话音通信论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:话音,通信系统,超短波,通信,甚高频,蓝牙,航天器。话音通信论文文献综述艾雨[1]（2...