射频磁控溅射功率论文

磁控溅射功率对WO_x薄膜结构和光催化活性的影响
论文摘要采用射频磁控溅射法在非加热载玻片上制备WOx薄膜。通过X射线衍射仪（XRD）、场发射扫描电子显微镜（SEM）、X射线光电子能谱仪（XPS）、台阶仪、UV-Vis-NIR...