射频磁控溅射论文
![柔性FEP基底修饰对ZnO:Al薄膜透明导电与附着力性能的影响研究]()
柔性FEP基底修饰对ZnO:Al薄膜透明导电与附着力性能的影响研究
论文摘要采用O2等离子体对柔性氟化乙烯丙烯共聚物（FEP）进行表面处理,然后,利用射频磁控溅射法在柔性氟化乙烯丙烯共聚物（FEP）上沉积修饰一层超薄SiO2,再沉积生长ZnO:...![掺铝ZnO透明导电膜动态制备及性能研究]()
掺铝ZnO透明导电膜动态制备及性能研究
论文摘要采用射频磁控溅射法在玻璃上动态制备高质量的掺铝ZnO（AZO）透明导电膜,研究了动态沉积条件下AZO薄膜的膜厚和电阻率均匀性,以及溅射气压对AZO薄膜结构和光电性能的影...![射频功率对DLC薄膜结构和力学性能的影响]()
射频功率对DLC薄膜结构和力学性能的影响
论文摘要使用射频磁控溅射,以高纯度碳靶材和高纯度甲烷为碳源,在不同射频功率下制备了类金刚石(DLC)薄膜。利用扫描电镜、傅里叶变换红外光谱仪和显微硬度计测试了薄膜的结构与性能。...![H2对Al-Si-GNP共掺杂ZnO透明导电薄膜性能的影响]()
H2对Al-Si-GNP共掺杂ZnO透明导电薄膜性能的影响
论文摘要以玻璃为基底,采用射频磁控溅射法制备了Al2O3、SiO2、氧化石墨烯（GNP）共掺杂氧化锌（GASZO）透明导电薄膜.考察了在Ar（流量不变）中H2流量对薄膜制备的影...![氮气流量和退火处理对射频磁控溅射氮掺杂二氧化钛薄膜性能的影响]()
氮气流量和退火处理对射频磁控溅射氮掺杂二氧化钛薄膜性能的影响
论文摘要常温下利用TiO2陶瓷靶采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了N掺杂TiO2薄膜。利用光学轮廓仪、X射线衍射仪（XRD）、X射线光电子能谱仪分析（XPS）和分光光度计等对...
