射频电源论文

戴忠玲[1]2004年在《射频及脉冲偏压等离子体鞘层流体动力学模拟》文中认为针对导体基板,本文建立了自洽的射频偏压等离子体鞘层流体动力学模型,研究了等离子体参数对无碰撞射频偏压等离子体鞘层物理特性和轰击到基板上离子能量分布的影响。模型包括描述离子运动的含时间相关项的连续性方程、动量方程和决定鞘层内电...