射频感应耦合论文

工作频率及装置结构对射频感应等离子体特性影响的数值研究
论文摘要为研究射频感应等离子体(RFICP)受等离子体发生器装置结构及工作频率的影响效应,以期可以为装置的正常工作提供参考,首先建立了射频感应热等离子体的湍流模型,然后利用商业...