射频微系统论文

基于硅基MEMS工艺的X频段三维集成射频微系统
论文摘要基于硅基MEMS工艺的宽带射频收发微系统在实现武器装备小型化的过程中具有十分重要的意义。将GaAs多功能芯片、MEMS滤波器等多种工艺制成的射频器件集成到硅晶圆上,利用...