湿法粉论文

气化粉与湿法粉制备ITO靶材过程及性能对比研究
论文摘要分别以ITO气化粉和湿法粉为原料,在相同工艺条件下,经过球磨、造粒、成型等工序制备了ITO靶材,研究了ITO气化粉和湿法粉制靶中间品及最终靶材的主要性能。结果表明:模压...