湿法刻蚀论文

镍铬硅薄膜电阻层的磁控溅射及湿法刻蚀工艺研究
论文摘要本文通过直流磁控溅射法在96氧化铝基板上沉积镍铬硅薄膜,然后采用光刻及湿法刻蚀工艺实现不同要求的电阻图形。图形化过程中,分别对比HNA刻蚀体系、TMAH刻蚀体系以及催化...
GaSb基VCSEL制备工艺研究
论文摘要2-5μm中红外波段垂直腔表面发射激光器（VCSEL）具有功耗低、发散角小、无像散圆形光斑、高调制带宽、良好的波长稳定性、低制作成本、可实现超小型的高密度二维封装等优点...