湿式腐蚀论文

基于嵌段共聚物的硅表面聚合物刷点阵组装
论文摘要嵌段共聚物纳米刻蚀技术因具有易大批量生产的优点,在集成电路硅片、生物芯片等技术领域引起了广泛的关注。本研究进一步改进了该技术,通过旋涂得到嵌段共聚物自组装模板,然后通过...