数字微镜器件论文

数字掩模投影光刻的极限分辨率研究
论文摘要研究了一种基于数字微镜器件(DMD)的数字掩模投影光刻(DMPL)技术,以400nm飞秒激光作为光源,结合高缩放比投影系统,来缩小光刻胶与光子束的反应区域,通过调控不同...
基于数字微镜器件的面源目标模拟实验系统研究
论文摘要建立了用数字微镜器件(DMD)作为显示器件的目标模拟系统,对成像畸变进行了研究。进行系统总体设计,利用几何光学计算了DMD不同姿态方位引起的物空间深度及变形量,确定了最...