四氟化硅论文

高纯四氟化硅的制备技术研究进展
论文摘要四氟化硅是一种有机硅化合物合成材料,被广泛应用于半导体行业,其需求量日益扩大,对其纯度要求也越来越苛刻。本文介绍了四氟化硅常用制备方法及其优缺点,列举了四氟化硅的纯化方...
四氟化硅气体中杂质的检测及净化研究进展
论文摘要介绍了四氟化硅气体中杂质的4种检测方法:气相色谱法、红外光谱法、气相色谱质谱法、原子发射光谱法。其中,气相色谱法一般用来测定四氟化硅气体中的烃类杂质,红外光谱法主要用来...
利用等离子反应器从SiF4与CH4制备HF和SiC的探索研究
论文摘要研究了一个新型反应,即SiF4气体与CH4气体反应生成无水HF气体和SiC固体。该反应在最大能量为20eV的等离子反应器的固定床中进行,反应一段时间后,收集反应器壁上固...