台阶流论文

m面AlN单晶自发成核生长表征
论文摘要采用金属系统物理气相传输（PVT）法自发成核方式,生长获得长宽均大于1cm、厚度为毫米量级的m面AlN单晶块体。通过对不同m面AlN单晶生长宏观形貌、微观表面的测试分析...