台面结构论文

垂直腔面发射激光器氧化孔结构对器件激射性能的影响
论文摘要为实现894.6nm低阈值、高稳定性、单模激光输出,设计了具有不同台面刻蚀结构的垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件,研究了台面直径和氧化孔结构对器件激射性能的影响。研...