碳化硅论文

王毅[1]2003年在《CCOS技术中磨头工作函数优化设计及工件去除量函数曲线的模拟》文中进行了进一步梳理本文首先论述了计算机控制非球面抛光的基本原理—Preston方程，对影响计算机数控抛光表面误差收敛速度的主要因素—磨头工作函数进行了详细的讨论。提出了以趋近因子作为评价磨头参数优化的参量。对目前...