碳化硅单晶论文

高线速下碳化硅单晶的快速平坦化切割
论文摘要碳化硅单晶材料硬度很高,用传统的切片方式难以加工、效率低下,多线切割是加工硬脆材料的有效方式,文章通过使用电镀金刚石线多线切割设备,进行了高线速度条件下快速碳化硅单晶平...
6H-SiC单晶片划痕形貌与残余应力研究
论文摘要为了研究6H-SiC单晶片在（0001）晶面C面划擦过程中材料的损伤机理,首先通过微纳米划痕系统划擦单晶片,得到不同载荷作用下沿不同晶向的划痕,再通过摩擦力传感器、显微...