特征尺寸偏差论文

光学系统像差对极紫外光刻成像特征尺寸的影响
论文摘要13.5nm波长极紫外(EUV)光刻机的分辨率虽然很高,但因波长的减小使其对像差的容忍度降低,有必要研究像差对EUV光刻成像的影响。针对四类典型像差的波前特征,选取对像...