梯度成分结构论文

梯度成分结构TiAlSiYN涂层的制备及其抗氧化性能研究
论文摘要目的采用阴极电弧镀叠加磁控溅射的复合PVD涂层技术,实现梯度成分结构TiAlSiYN多元涂层的制备。方法在涂层沉积过程中,通过切换不同成分的电弧靶,获得成分梯度变化的T...