体硅刻蚀论文

基于MEMS的矩形微同轴技术研究现状
论文摘要矩形微同轴技术已成为射频微电子机械系统(RFMEMS)的一个重要发展方向。矩形微同轴的电性能相比于传统的传输结构(如微带、共面波导等)在毫米波宽带领域具有巨大优势。从结...