梯形通道论文

CO2激光多程平移法制备高质量梯形PMMA微通道
论文摘要由于非金属材料对长波红外激光有较强的吸收,CO2激光常被用于制备PMMA微通道。激光光强呈高斯分布,导致常规激光静态多程刻蚀法制备的微通道截面为三角形,无法满足微流体芯...