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透射式透明薄膜厚度的在线测量
论文摘要为满足工业半透明薄膜厚度在线检测的实际需求,提出了一种基于透射式光密度计量法的全场在线测量方法.该方法利用相机采集放置薄膜前后的图像灰度,将其作为入射与出射能量并计算其...