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涂层组分对磁控溅射制备Ti600合金表面Ti-Al-N涂层组织微观结构的影响
论文摘要以电弧复合磁控溅射沉积工艺在Ti600合金基体上沉积得到Ti-Al-N涂层,通过控制公转速度的方式来获得不同涂层组分,实验研究涂层组分对涂层组织微观结构的影响。研究结果...