脱膜论文

KrF激光刻蚀制备300 nm自支撑聚酰亚胺膜
论文摘要本工作探讨了微纳米量级聚酰亚胺（PI）自支撑薄膜的制备。以4,4’-二氨基二苯醚（ODA）和均苯四甲酸二酐（PMDA）为单体合成聚酰胺酸（PAA）溶液。经热亚胺化后脱膜...