烷类特种气体论文

烷类特种气体分析装置的研制及其应用
论文摘要烷类特种气体为集成电路生产中重要的原材料,提高其气体分析结果的可靠性对提高原料气的纯度,促进电子工业事业的发展具有重要的意义。多维气相色谱装置已成为层析法中一个很重要的...