微波等离子体化学气相沉积论文

大尺寸单晶金刚石同质连接技术
论文摘要介绍了制备人造单晶金刚石的技术途径及发展现状,重点讨论并对比了几种化学气相沉积法(CVD)金刚石制备技术的优缺点,详细阐述了基于微波等离子体CVD(MPCVD)法的同质...