微传感器论文

化工行业气体MEMS传感技术展望
论文摘要近年来由易燃易爆及有毒气体泄漏引起的化工领域安全问题日益突出,相应的气体监检测技术升级需求异常迫切。传统传感器虽已被广泛使用,但在面对未知环境或复杂气氛的混合气体时,依...