微电子工业论文

微电子洁净厂房的设计分析
论文摘要针对某微电子工业厂房项目工程,分析电子工业洁净厂房的净化空调系统设计,以及防排烟系统的设计。同时根据电子洁净厂房工艺设备的参数,简述气体动力系统设计。论文目录文章来源类...