微电子机械系统论文

MEMS陀螺仪抗冲击设计技术
论文摘要为了提高微电子机械系统(MEMS)陀螺仪的抗冲击能力,设计了一种抗冲击保护结构。通过建立陀螺仪结构双自由度冲击模型,推导出陀螺仪结构和冲击保护结构的冲击响应方程,分别对...
基于MEMS的矩形微同轴技术研究现状
论文摘要矩形微同轴技术已成为射频微电子机械系统(RFMEMS)的一个重要发展方向。矩形微同轴的电性能相比于传统的传输结构(如微带、共面波导等)在毫米波宽带领域具有巨大优势。从结...
钻杆振动频率检测系统的研制与应用
论文摘要在钻进过程中,当钻杆的固有频率与外部激励频率一致时,会产生共振现象。共振会使钻杆疲劳破坏,导致钻杆失效,造成严重后果。为了避免这种破坏,研制了一套基于微机电系统(MEM...