微缝结构论文

基于硝酸钠乙二醇溶液的铝微缝结构电解切割试验
论文摘要铝由于其低密度和良好的导电导热性而被广泛应用于各个领域,其中具有群缝结构的铝微器件在微机电领域有着重要的应用前景,但铝箔的微细加工较困难。针对铝微缝结构的加工,提出一种...