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氢气、氢气/硅烷等离子体时间分辨光发射谱的研究
论文摘要为了加深对等离子体增强化学气相沉积的认识,采用增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了氢气及氢气/硅烷混合气体在不同气压条件下的时间分辨光发射谱,获得了辉光放电等离子体瞬态...
富氢气氛下CO优先甲烷化微观动力学
论文摘要采用管式固定床反应器研究了富氢气氛下Ni~ZrO2/SiO2催化剂上CO优先甲烷化反应的微观动力学;提出了幂指函数动力学方程模型;从研究结果看,提出的动力学模型具有一定...