微观结构性质论文

论文摘要以氧化锡（SnO2）掺杂的氧化铟（In2O3）陶瓷靶作为溅射源材料,利用射频磁控溅射工艺在普通玻璃基底上沉积了掺锡In2O3（In2O3:Sn）薄膜样品,通过XPS、X...