![MLW-15000微机控制锚链拉力试验电液伺服控制系统的研制]()
一、MLW—15000型微机控制锚链拉力试验机电液伺服控制系统的研制（论文文献综述）吴小玲[1]（2021）在《小型非接触拉伸试验机的感知设计研究》文中研究指明小型非接触拉伸试...
![压电微泵的特性测试与分析]()
论文摘要本文对压电驱动微泵的工作特性进行了系统测试,利用高压方波信号源产生频率和电压可调的信号来驱动微泵,采用高精度电子秤测量固定时间(10s)内微泵输送液体的质量大小;并对工...
![双光子聚合加工均匀木堆结构方法的研究]()
论文摘要由于双光子聚合所具有的纳米级加工分辨率以及真三维制造能力,被广泛应用于微米纳米制造领域。利用双光子聚合加工的三维木堆结构是实现生物支架、光子晶体、超材料等功能器件的重要...
![新型半填充微气相色谱柱芯片研究]()
论文摘要基于微机电系统(MEMS)技术设计制造了新型半填充微气相色谱柱(μGCC)芯片,芯片的微沟道内设计有排列整齐的椭圆微柱阵列。与现有半填充μGCC相比,新型μGCC的微沟...
![微机电系统器件电镀镍厚度均匀性的模拟与改进]()
论文摘要微机电系统(MEMS)金属基器件经常存在电镀镍层厚度不均匀的问题,采用大型有限元分析软件ANSYS对电镀过程的电场分布进行建模分析。探讨了片内辅助阴极的线宽及其与微结构...
![基于可调谐垂直腔面发射激光器的微机电系统调谐特性研究]()
论文摘要垂直腔面发射激光器（VCSEL）是由日本东京工业大学的Iga、Soda等教授于1977年初次提出。其出光方向与衬底垂直,具有可在片测试、阈值电流低、易于集成、发散角小、...
![双轴测斜仪边坡位移监测数据的降噪方法研究]()
论文摘要提出了一种用于边坡位移监测的微机电系统双轴测斜仪原始采集数据累计位移的降噪算法,通过采用卡尔曼滤波器与Hamming窗FIR滤波器组合滤波的方法,对MEMS双轴测斜仪自...
![体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究]()
董玮[1]2004年在《体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究》文中提出随着光纤通信技术的发展和密集波分复用（ＤＷＤＭ）系统的应用，全光交换已经成为一种趋势，光开关是实现全光交换的关键器件，它可以实现全光层的路由选择，波长选择，光交叉连接，自愈保护等功能。随着ＭＥＭＳ技术的发展，ＭＥＭＳ与光器件融合...
