涡轮分子泵论文

一种涡轮分子泵抽气性能的改进算法
论文摘要近年来,随着磁悬浮轴承技术的发展,涡轮叶片的线速度已经接近或超越分子平均热运动速度,这种情况下的涡轮分子泵抽气机理和性能参数与过去有很大不同。而且,便携式质谱仪的出现也...