误差容限论文

白光干涉条纹色偏移机理与校正技术研究
论文摘要白光显微干涉技术将白光干涉技术与显微成像技术结合起来,实现了微观三维形貌的测量,因其快速、非接触、高精度等一系列优点,多年来一直受到广泛的关注。在理想情况下,白光干涉信...