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一种用于多晶硅的无关联塔差压热耦合技术
论文摘要本文提供了一种多晶硅精馏提纯无关联塔之间的差压热耦合技术。该技术可以是两塔或三塔,各塔各自有进料、塔顶采出、塔底采出,物料之间无任何关系,实现了不同塔组不同塔之间的塔差...