雾化互抛抛光论文

雾化施液单晶硅互抛抛光速率实验研究
论文摘要调节自配抛光液的H2O2含量、pH值、抛光盘转速和抛光压力,通过电化学实验,探究单晶硅互抛抛光过程中抛光工艺参数对腐蚀电位、腐蚀电流和抛光速率的影响规律,并解释其电化学...